近年來，國內(nèi)外在濕度傳感器研發(fā)領域取得了長足進步。濕敏傳感器正從簡單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數(shù)檢測的方向迅速發(fā)展，為開發(fā)新一代濕度/溫度測控系統(tǒng)創(chuàng)造了有利條件，也將濕度測量技術提高到新的水平。
      1濕敏元件的特性
      濕敏元件是最簡單的濕度傳感器。濕敏元件主要電阻式、電容式兩大類。
      1.1濕敏電阻
      濕敏電阻的特點是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，這一特性測量濕度。濕敏電阻的種類，例如金屬氧化特濕敏電阻、硅濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。濕敏電阻的優(yōu)點是靈敏度高，主要缺點是線性度和產(chǎn)品的互換性差。
      1.2濕敏電容 
      濕敏電容是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酷酸醋酸纖維等。當環(huán)境濕度發(fā)生改變時，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化，其電容變化量與濕度成正比。濕敏電容的主要優(yōu)點是靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應速度快、濕度的滯后量小、便于制造、實現(xiàn)小型化和集成化，其精度比濕敏電阻要低。國外生產(chǎn)濕敏電容的主廠家有Humirel公司、Philips公司、Siemens公司等。以Humirel公司生產(chǎn)的SH通測儀器1100型濕敏電容為例，其測量范圍是（1%～99%）RH，在55%RH時的電容量為180pF（典型值）。當濕度從0變化到100%時，電容量的變化范圍是163pF～202pF。溫度系數(shù)為0.04pF/℃，濕度滯后量為±1.5%，響應時間為5s。  本文由www.flswjt.cn整理提供，部分內(nèi)容來源于網(wǎng)絡，如有侵犯到你的權利請與我們聯(lián)系更正。

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      除電阻式、電容式濕敏元件之外，還有電解質(zhì)離子型濕敏元件、重量型濕敏元件（感濕膜重量的變化來改變振蕩頻率）、光強型濕敏元件、聲表面波濕敏元件等。濕敏元件的線性度及抗污染性差，在檢測環(huán)境濕度時，濕敏元件要長期暴露在待測環(huán)境中，很被污染而影響其測量精度及長期穩(wěn)定性。
      2集成濕度傳感器的性能特點及產(chǎn)品分類
      目前，國外生產(chǎn)集成濕度傳感器的主要廠家及典型產(chǎn)品分別為Honeywell公司（HIH-3602、HIH-3605、HIH-3610型），Humirel公司（HM1500、HM1520、HF3223、HTF3223型），Sensiron公司（SHT11、SHT15型）。這些產(chǎn)品可分成以下三種類型：
       2.1線性電壓輸出式集成濕度傳感器
      典型產(chǎn)品有HIH3605/3610、HM1500/1520。其主要特點是采用恒壓供電，內(nèi)置放大電路，能輸出與濕度呈比例關系的伏特級電壓信號，響應速度快，重復性好，抗污染能力強。
      2.2線性頻率輸出集成濕度傳感器
      典型產(chǎn)品為HF3223型。它采用模塊式結構，屬于頻率輸出式集成濕度傳感器，在55%RH時的輸出頻率為8750Hz（型值），當上對濕度從10%變化到95%時，輸出頻率就從通測儀器9560Hz減小到8030Hz。

      這種傳感器具有線性度好、抗干擾能力強、便于配數(shù)字電路或單片機、價格低等優(yōu)點。
      2.3頻率/溫度輸出式集成濕度傳感器
典型產(chǎn)品為HTF3223型。它除具有HF3223的功能以外，還了溫度信號輸出端，負溫度系數(shù)（NTC）熱敏電阻溫度傳感器。當環(huán)境溫度變化時，其電阻值也相應改變并且從NTC端引出，配上二次儀表測量出溫度值。
      3單片智能化溫度/溫度傳感器
      2002年Sensiron公司在世界上率先研制成功SHT11、SHT15型智能化溫度/溫度傳感器，其外形尺寸僅為7.6（mm）×5（mm）×2.5（mm），體積與火柴頭相近。出廠前，每只傳感器都在溫度室中做過精密標準，標準系數(shù)被編成相應的程序存入校準存儲器中，在測量過程中可對濕度進行自動校準。不僅能準確測量溫度，還能測量溫度和露點。測量溫度的范圍是0～100%，分辨力達0.03%RH，最高精度為±2%RH。測量溫度的范圍是-40℃～ 123.8℃，分辨力為0.01℃。測量露點的精度<±1℃。在測量濕度、溫度時A/D轉換器的位數(shù)分別可達12位、14位。降低分辨力的方法可以提高測量速率，減小芯片的功耗。SHT11/15的產(chǎn)品互換性好，響應速度快，抗干擾能力強，不外部元件，適配各種單片機，可廣泛用于醫(yī)療設備及溫度/濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)中。 

       輸入數(shù)字“1”時，測量并顯示出攝氏溫度dgC=xx.x；輸入數(shù)字“2”時，測量并顯示出濕度%RH=xx.x；輸入數(shù)字“3”時，打開加熱器，使傳感器溫度升高5℃；輸入數(shù)字“4”時，關閉加熱器，使傳感器降溫；輸入數(shù)字“5”時，顯示露點溫度  dpC=xx.x。
      4集成濕度傳感器典型產(chǎn)品的技術指標
      集成濕度傳感器的測量范圍可達到0～100%。但有的廠家為保證精度指標而將測量范圍限制為10%～95%。設計 3.3V低壓供電的濕度/溫度測試系統(tǒng)時，可選用SHT11、SHT15傳感器。這種傳感器在測量階段的工作電流為550μA，平均工作電流為28μA（12位）或2μA（8位）。上電時默認為休眠模式（SleepMode），電源電流僅為0.3μA（典型值）。測量完畢只要沒有新的命令，就自動返回休眠模式，能使芯片功耗降至最低。此外，還具有低電壓檢測功能。當電源電壓低于 2.45V±0.1V時，寄存器的第6位立即更新，使芯片不工作，從而起到了保護作用。